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SIMS ist eine hochempfindliche Technik zur Oberflächenanalyse zur Bestimmung der Oberflächenzusammensetzung, Kontaminationsanalyse und Tiefenprofilanalyse in den obersten Schichten einer Probe..
Angewandt auf die ersten Mikrometer der oberfläche ermöglicht das Hiden SIMS System die Tienprofilanalyse mit einer Tiefenauflösung von 5 Nanometern.
Die Hiden SIMS Workstation ermöglicht leistungsstarke statische und dynamische SIMS Anwendungen zur genauen Analyse der Oberflächenkomposition und Tiefenprofilierung.
Hiden's elementare SIMS Bildgebungseinrichtung ermöglicht hochauflösende chemische Oberflächenkartierung.
Hiden Komponenten als Nachrüstsystem sind erhältlich zum nachträglichen erweitern bestehender Oberflächenananlysesysteme mit der SIMS Technik.
Produkte
Eine Arbeitsstation zur Analyse mittels Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS).
SIMS Sonden als Anbauteile zum NAchrüsten bestehender Systeme in der Oberflächenanalyse
Für Anwendungen im Bereich der Oberflächen- und Tiefenanalyse.
Quadrupol-Massenspektrometer Komponenten.
Broschüren
Massenspektrometer für Dünne Schichten, Plasma und Oberflächenwissenschaften (1.03 MB)
MAXIM Quadrupol SIMS Analysator (561.59 kB)
SIMS Broschüre TI 181 (669.66 kB)
SIMS Broschüre TI 181 HiRes (5.5 MB)
Poster
Hochleistungs-SIMS - Massen- und Energieanalysator für SIMS (DIN A2) (584.66 kB)
Hochleistungs-SIMS - Massen- und Energieanalysator für SIMS (DIN A3) (339.8 kB)
Präsentationen
IMP Endpunktdetektionssystem für Ionenätzanwendungen (277.87 kB)
Niedrigenergetische Ne Streuung von Metalloberflächen durch Verwendung von MARISS (321.25 kB)
SIMS - Bilder (2.17 MB)
SIMS Workstation & Anbausysteme (4.22 MB)

Applikationshinweise
Energetische (Schnell) Analyse von Neutralen Teilchen (84.43 kB)
EQP/EQS Zeitaufgelöste Studien in Ionenstrahl- und Plasmaprozessen (245.57 kB)
EQS vs. EPIC - Ionenenergie-Verteilungsfunktion (270.08 kB)
SIMS - Glasbeschichtung (29.24 kB)
Sekundär-Neutralteilchen-Analyse (300.59 kB)
SIMS - Analyse von Semiconductor Kontakt-Pads (492.17 kB)
SNMS - Tiefenprofile einer Hard Disk Oberfläche (559.39 kB)
SNMS - Magnetische Schichten (88.44 kB)
Tour durch die Hiden SIMS Workstation (6.07 MB)
Technische Informationen
EQS 1000 Serie - Zeichnung (78.62 kB)
EQS 300/500 Serie - Zeichnung (52.17 kB)
SIMS Imaging FoV - Zeichnung (60.02 kB)
Produktspezifikationen
IG20 Ionenkanone für Dynamische SIMS (60.37 kB)
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