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SIMS

SIMS ist eine hochempfindliche Technik zur Oberflächenanalyse zur Bestimmung der Oberflächenzusammensetzung, Kontaminationsanalyse und Tiefenprofilanalyse in den obersten Schichten einer Probe..

 

Angewandt auf die ersten Mikrometer der oberfläche ermöglicht das Hiden SIMS System die Tienprofilanalyse mit einer Tiefenauflösung von 5 Nanometern.

 

Die Hiden SIMS Workstation  ermöglicht leistungsstarke statische und dynamische SIMS Anwendungen zur genauen Analyse der Oberflächenkomposition und Tiefenprofilierung.

 

Hiden's elementare SIMS Bildgebungseinrichtung ermöglicht hochauflösende chemische Oberflächenkartierung.

 

Hiden Komponenten als Nachrüstsystem sind erhältlich zum nachträglichen erweitern bestehender Oberflächenananlysesysteme mit der SIMS Technik.

 

 

Produkte

 

Eine Arbeitsstation zur Analyse mittels Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS).
SIMS Sonden als Anbauteile zum NAchrüsten bestehender Systeme in der  Oberflächenanalyse
Für Anwendungen im Bereich der Oberflächen- und Tiefenanalyse.
Puls-Ionenzähldetektion.
Quadrupol-Massenspektrometer Komponenten.

 

 

Broschüren

 

icon Massenspektrometer für Dünne Schichten, Plasma und Oberflächenwissenschaften (1.03 MB)

icon MAXIM Quadrupol SIMS Analysator (561.59 kB)

icon SIMS Broschüre TI 181 (669.66 kB)

icon SIMS Broschüre TI 181 HiRes (5.5 MB)

 

 

Poster

 

icon Hochleistungs-SIMS - Massen- und Energieanalysator für SIMS (DIN A2) (584.66 kB)

icon Hochleistungs-SIMS - Massen- und Energieanalysator für SIMS (DIN A3) (339.8 kB)

 

 

Präsentationen

 

icon IMP Endpunktdetektionssystem für Ionenätzanwendungen (277.87 kB)

icon Niedrigenergetische Ne Streuung von Metalloberflächen durch Verwendung von MARISS (321.25 kB)

icon SIMS - Bilder (2.17 MB)

icon SIMS Workstation & Anbausysteme (4.22 MB)

 

 

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Applikationshinweise

 

icon Energetische (Schnell) Analyse von Neutralen Teilchen (84.43 kB)

icon EQP/EQS Zeitaufgelöste Studien in Ionenstrahl- und Plasmaprozessen (245.57 kB)

icon EQS vs. EPIC - Ionenenergie-Verteilungsfunktion (270.08 kB)

icon SIMS - Glasbeschichtung (29.24 kB)

icon Sekundär-Neutralteilchen-Analyse (300.59 kB)

icon SIMS - Analyse von Semiconductor Kontakt-Pads (492.17 kB)

icon SNMS - Tiefenprofile einer Hard Disk Oberfläche (559.39 kB)

icon SNMS - Magnetische Schichten (88.44 kB)

icon Tour durch die Hiden SIMS Workstation (6.07 MB)

 

 

Technische Informationen

 

icon EQS 1000 Serie - Zeichnung (78.62 kB)

icon EQS 300/500 Serie - Zeichnung (52.17 kB)

icon SIMS Imaging FoV - Zeichnung (60.02 kB)

 

 

Produktspezifikationen

 

icon IG20 Ionenkanone für Dynamische SIMS (60.37 kB)